Tungsten Oksit İnce Film

Tungsten oksit ince film o Reo yapıya sahiptir, en belirgin iyon duyarlı renk malzemesidir. Bu kristal yapısı aslında W6 + içine ABO3 tipi Perovskite yapı boş katyon siteleri A ve B bittir. Pozitif iyon kaynağı olduğunda, elektrik alanı, bir negatif voltaj pozitif iyonlar, implante WO3 filmler, WO uygulanır pozitif iyonları M ve elektron dağılımı ve WO3 films.When göç etmesine neden "A birini işgal uygulanır "pozisyonuna tungsten bronz MxWO3 oluşturmak için. Gerilim tersine olduğunda, WO3 filmden çıkarılan iyonları implante.

Iyon enjeksiyonu ve çıkarma işlemi tersine çevrilebilir elektrokimyasal bir reaksiyondur. Tungsten oksit filmin iyon implantasyonu ve çıkarma işlemi sırasında, filmin optik özellikleri (ışık geçirgenliği, yansıtma, emme ve kırılma indisi, vb) ve elektriksel özellikleri önemli değişiklikler uğrayacaktır. Örneğin, hatta metalik özelliklere sahip bir yarı iletken içine yalıtkan iyon implantasyonu miktarı X artması, MxWO3 ile direnç değişiklikleri 6 ~ 5X01`ncm 01 aralığında oluşabilir. Ayrıca, film, geri dönüşümlü olarak derin mavi şeffaf bir devlet arasında değişir. WO ince film bu iyon duyarlı renk efektleri, optik anahtarlar akıllı pencere (SmratWindow), bilgi ekranları, gaz sensörleri, pH probları ve diğer alanlarda uygulanabilir.

Tungsten oksit elektrokromik 1969 yılında Deb tarafından bulundu beri, insanlar elektrokromik malzemeler hakkında çok araştırma yaptık. Üretim yöntemi, tungsten oksit ince film özelliğini etkileyebilir. Farklı üretim yöntemi farklı kristal şekli ve ince film yapısı neden olur.

Termal buharlaştırma yoluyla WO3 ince film üreten, 450 ℃ 350 ℃ den atmosferi altında filmi tedavi ince film üzerinde farklı sıcaklık aralığında etkileri incelenmiştir. Bu atmosferde, ince film 390 derecelik santigrat altında kristalize başlar gösterir, 450 derece santigrat olarak tamamladı. Sıcaklığın artması ile birlikte, WO3 ince film rengini değiştirir.