三氧化鎢陶瓷靶材

三氧化鎢陶瓷靶材圖片

三氧化鎢(WO3,tungsten trioxide)薄膜是一種重要的功能材料,因其具有優良的電致變色性能而被用於系統中。電子束蒸鍍法製備致變色用WO3薄膜常用的蒸鍍物質有WO3粉末和WO3靶材兩種。目前研究較多的是採用WO3粉末作為蒸鍍物質,但是採用粉末的形式通常不合適因此選蒸鍍物質,但是採用粉末的形式通常不合適因此選蒸鍍物質,但是採用粉末的形式通常是不合適的。因此選WO3靶材作為蒸鍍物質是一種優化方案。但是當前國內外卻鮮有對WO3靶材製備的報導。國內實驗室製備的WO3靶材,存在密度低或純的缺點,因此製備高純度密度WO3靶材具有重要的意義。

為了製備高純度超緻密WO3靶材,可擬從粉體、成形和燒結三個方面進行研究,而這三的優化組合是達成上述目標的必要條件。具體研究內容包括:

(1)高純度、燒結活性且壓制能優良的WO3粉末的製備;

採用國產的高純氧化鎢(度大於99.99%)為原料,採用低能滾動球磨工藝製備實驗粉末,探討球磨破碎機理以及工藝、介質等對細微性結構和純度等的影響。

(2)WO3陶瓷的壓制工藝優化;

將WO3造粒粉在不同壓力下模(為避免夾雜,採用高硬度、耐磨性且主要化學成分為鎢的硬質合金鑲嵌模具),析壓強與坯密度關係以及離散性,探討最優的壓制工藝。

(3)WO3陶瓷的燒結工藝優化。

為了抑制WO3燒結過程中的昇華,實驗燒結過程中全程通氧。探討溫度、和壓坯密度對燒結致的影響,找出最佳工藝。